SEMI标准气体质量流量控制器描述
MCE 系列性能（大多数产品）
可用满量程范围： 0.5 SCCM 至 20 SLPM
稳态控制范围：满量程的 0.01% – 100%
标准精度校准，NIST 可溯源：读数的 ±0.6% 或满量程的 ±0.1%，以较大者为准
可选的高精度校准，NIST 可溯源：读数的 ±0.5% 或满量程的 ±0.1%，以较大者为准
重复性： ±（读数的 0.1% + 满量程的 0.02%）
典型控制响应时间：最快 30 ms
预热时间： <1 s
MCE 系列工作条件
兼容气体： 98 多种预加载的可选气体校准
工作温度： –10°C 至 +60°C
满量程工作压力： 160 PSIA
最大压差： 75 PSID
耐压： 175 PSIA
用户可选择的参考条件（默认）： 25°C & 1 ATM (STP) 和 0°C & 1 ATM (NTP)
设备范围和完整规格
器件的定制范围从 0.5 SCCM 满量程 到20 SLPM 满量程，可控范围为满量程的0.01% 到 100%。
有关从0.5 SCCM 满量程到5 SCCM 满量程的设备规格，请参阅 MCE 系列低流量设备规格。
有关从10 SCCM 满量程到20 SLPM 满量程的设备规格，请参阅MCE 系列中流量设备规格。
每个设备都包含
多变量过程测量：同时测量质量流量、体积流量、气体压力和气体温度。
用户可更改的测量单位：从我们广泛的工程单位列表中更改压力、流量或温度的测量单位。
气体可选性： 从我们气体列表中的 98 多种预加载 NIST 可溯源气体校准中选择您的工艺气体 。
Gas Select COMPOSER™： 使用我们的Gas Select Composer ™ 固件定义多达 5 种成分气体的 20 种自定义气体混合物。
带集成触摸板的单色背光 LCD： 使用背光显示屏和控制配置以及用户友好的集成触摸板轻松读取测量值。
用户可调节的设定点斜坡和限制：可配置的斜坡率允许根据需要控制过程变量的快或慢，可配置的设定点限制可保护过程免受无意的设定点更改。
用户可调节标准温度和压力 (STP) 条件： 快速 更改参考条件 ，无需重新校准。
阀门关闭覆盖和阀门打开覆盖：利用警报快速排放系统或根据需要停止所有流量。
SEMI标准气体质量流量控制器配件
工艺端口接头和过滤器
电源
通信电缆和转换电缆
BB3 和 BB9 多点分线盒
