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韩国倍增(BEGA)BG MD-Plasma 800模块化等离子体

韩国倍增(BEGA)BG MD-Plasma 800模块化等离子体

型号:BG MD-Plasma 800 类别: 等离子体清洗设备 品牌: pdf资料:韩国倍增(BEGA)BG MD-Plasma 800模块化等离子体.pdf

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韩国倍增(BEGA)BG MD-Plasma 800  模块化等离子体

BG MD-Plasma 800模块化等离子体


韩国倍增(BEGA)BG MD-Plasma 800模块化等离子体产品概述:
• 等离子体模块可以安装在各种系统设备中
• 多种处理能力, 优异的处理速度和处理性能
• 辉光,均匀流动等离子体. 低电压, 极少气体消耗
• 不产生臭氧和有毒气体
• 可以客户化设计



韩国倍增(BEGA)BG MD-Plasma 800块化等离子体应用方向:



• 高分子材料,纳米材料, 有机物清洗
• 半导体,触摸屏,生物材料处理
• 提高表面粘附力和表面改造

韩国倍增(BEGA)BG MD-Plasma 800模块化等离子体技术指标:
• 等离子体源:    射频-辉光等离子体源 (DBD 型, 专利的)
                     空气冷却
                     脉冲匹配适用
                     等离子体区域:800mm
• 射频发生器:    最大功率:1KW
                     频率: 13.56MHz


                     AC 输入: 单相100~240VAC 50/60Hz
                     接口: 模拟接口,RS-232串口
                     冷却: 加压气流
• 自动匹配箱:    最大功率: 1KW
                     标称RF电流: 30A

                     标称RF频率: 13.56Mhz
                     外部接口: Multi-connector B10N
                     AC 输入: 单相100~240VAC 50/60Hz
                     接口: 模拟接口,RS-232串口

                     冷却: 加压气流

MFC : Ar(30lpm), O2/N2(200sccm), voltage : +15vdc, signal: 0~5V



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