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韩国倍增(BEGA)BG CVD-Plasma 150自动CVD等离子机

韩国倍增(BEGA)BG CVD-Plasma 150自动CVD等离子机

型号:BG CVD-Plasma 150 类别: 等离子体清洗设备 品牌: pdf资料:韩国倍增(BEGA)BG CVD-Plasma 150自动CVD等离子机.pdf

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韩国倍增(BEGA) BG CVD-Plasma 150自动CVD等离子机

韩国BEGA BG CVD-Plasma 150  自动CVD等离子机

韩国倍增(BEGA) BG CVD-Plasma 150自动CVD等离子机产品概述

• 方便易用,台式R&D 大气压等离子体
• 超疏水性和超亲水性镀膜
• 可以保证一致的薄膜沉积
• 可以客户化设计


韩国倍增(BEGA) BG CVD-Plasma 150自动CVD等离子机应用方向

• 使用等离子体超疏水和超亲水镀膜
• 用CVD等离子保证薄膜沉积的一致性

韩国倍增(BEGA) BG CVD-Plasma 150自动CVD等离子机技术指标


• 等离子体类型 :大气辉光等离子体
• 等离子体长度 : 150mm
• 操作气体 : Ar, He
• 反应气体 : N2, O2, CF4, CH4,液体MFC
• RF 功率 : 13.56Mhz, 600W
• PLC 基础主控制 :PLC+TFT LED触摸屏
• 机械手冲程 : Y轴 : 250mm
• 机械手速度 : 100mm/s
• 机械手马达 : 步进马达
• 样板尺寸 : 1300mm(W) x 980mm(D) x1700mm(H)





 

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